文献综述
随着电子信息、集成电路和微机电系统 (MEMS) 等领域的迅猛发展，压电薄膜材料的需求量也在日益增加。
目前被大量使用的压电材料以铅基压电材料为主，然而铅基压电材料中的氧化铅含量可达原料总量的70%，导致其在生产、使用和废弃后处理等过程中都会给人类及生态环境带来严重且不可逆的危害。
受环境和社会可持续发展的制约，传统压电材料(含铅)遭到限制，性能优异的无铅压电薄膜和相关传感器有着广泛的应用前景。
目前发展前景较好的无铅材料包括乌青铜结构类的材料，铋层状结构类的材料，以及钙钛矿结构的材料。
其中，钙钛矿无铅体系以其优异的压电、铁电和介电性能成为近年来研究最多、发展潜力最大的无铅体系之一，一直受到物理、化学、材料和微电子等研究领域的重视。
钙钛矿材料逐渐被广泛的应用于电容器、热敏电阻、光开关、高频电路元件、动态随机存储器、非易失性铁电存储器、及电光集成器件等，被认为是最重要的电子元器件材料。
电介质电容器具有介电常数高、介电损耗低、功率密度高、充 /放电速度快、工作电压 /电流大、可靠性好、温度稳定性好等优点，已经被应用于脉冲功率器件领域。
如何提高电容器的储能密度成为亟待解决的一个关键问题，也是目前人们研究的重点。
与块体材料相比，薄膜电容器的耐压强度高，因此其储能密度高。
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