文献综述
【摘要】湿度是用来表达空气的干燥程度的参数。空气湿度的表征在许多方面都有重要的用途，比如在大气学、气象学和气候学中，湿度往往不容忽视。在很多行业领域，诸如农业生产，工业制造，湿度控制都发挥着它独特的影响。湿度传感器作为我们直观地将湿度表现出来的工具，有着很大的前景，同时，为了更好地发挥传感器的功效，了解其工作的机制即感湿机理，是十分重要的。本文通过对各学者的研究进行总结，对现有湿度传感器的感湿机理进行了大致的介绍。并对相关表征技术进行介绍，为后续实验中对器件特性的测试服务。
【关键词】湿度 湿度传感器 柔性湿度传感器 感湿机理 表征
【abstract】Humidity is a parameter indicating how dry the air is. The characterization and control of air humidity play important roles in many areas, such as meteorology, meteorology, climatology agricultural production, and industrial manufacturing. Humidity sensors, which transfer humidity signals into electronic signals, have received widely concerned by researchers nowadays. In order to improve the performance of humidity sensors, to understand their working mechanism becomes more and more important., In this report, the results of various investigations are summarized, and some moisture sensing mechanisms of existing humidity sensors are introduced. The relative characterization techniques are also investigated, which may be helpful for the research and fabrication of humidity sensors in my project.
【key word】 humidity；humidity sensor；flexible humidity sensor；humidity-sensitive mechanism；characterization
1 引言
1.1背景
在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门，经常需要对环境湿度进行测量及控制。但在常规环境参数中，湿度是最难准确测量的一个参数。用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法，早已无法满足现代科技发展的需要。这是因为测量湿度要比测量温度复杂的多，温度是个独立的被测量，而湿度却受其他因素(大气压强、温度)的影响，为此便需要适合的湿度传感器来获得我们需要的数据。目前，许多智能化的检测设备已经大量的采用各种各样的传感器，湿度传感器是基于其功能材料能发生与湿度有关的物理效应或化学反应的基础上制造的随着工农业等部门对产品质量的要求越来越高，也就越来越需要对湿度进行严播燕测及控剡。如今，湿度的检测和控制技术已经获得广泛应用，对湿度检测、控制的需求促进了对湿度传感器的研究进展。
1,2柔性湿度传感器的发展现状
湿度传感器正从简单的湿敏元件向集成化、智能化、多参数检测的方向迅速发展，传统的干湿球湿度计或毛发湿度计已无法满足现代科技发展的需要。柔性湿度传感器以低成本、低能耗、易于制造和易集成到智能系统制造等优点已被广泛研究。
柔性材料是与刚性材料相对应的概念，一般，柔性材料具有柔软、低模量、易变形等属性。常见的柔性材料有：聚乙烯醇(PVA)、聚酯(PET)、聚酰亚胺(PI)、聚萘二甲酯乙二醇酯(PEN)、纸片、纺织材料等。而柔性传感器则是指采用柔性材料制成的传感器，具有良好的柔韧性、延展性、甚至可自由弯曲甚至折叠，而且结构形式灵活多样，可根据测量条件的要求任意布置，能够在某些限定条件下对信号进行检测[1]。制作该类传柔性湿度传感器的基底材料与其他柔性传感器类似，制造湿度敏感膜的方法也有很多，包括浸涂[2]、旋转涂料[3]、丝网印刷和喷墨印刷[4]。
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